SiCウエハ・サファイアウエハ・シリコンウエハ・半透明ウエハなどを安定検出

半透明ウエハを最新の光学機能で一括マッピングウエハマッピングセンサは、半導体部品の製造・搬送設備や液晶搬送設備で、カセットやFOUPと呼ぶ保管箱に一定間隔で収納されている複数枚の半導体ウエハの有無や枚数を一括検出するためのセンサです。